第182章 追光破光刻机难题(2/2)

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利!」

    这一思路打开了新的方向。联合团队放弃了完全复刻国外配方的想法,转而针对国产光刻机的特性和28nm工艺的痛点,进行全新的分子设计。

    无数个日夜,实验室里充满了化学试剂的气味和激烈的讨论声。

    一次次的合成,一次次的失败,测试晶圆上的缺陷仿佛一道道嘲笑的疤痕。

    与此同时,在华夏芯谷的洁净室内,「钥匙小组」的挑战同样艰巨。

    没有原厂支持,调试光刻机如同盲人摸象。一次激进的参数尝试,甚至导致一整个批次的晶圆彻底报废,损失高达数百万。

    金秉洙博士顶着压力,组织团队彻夜分析数据。

    「我们不能蛮干。」

    他沙哑着嗓子说,

    「必须建立我们自己的光刻机病理学资料库。每一次失败,都要弄清楚为什麽失败。」

    章宸博士带领的架构团队也加入了战场,他提出了一个大胆的想法:

    「既然硬体精度短期内难以突破,我们能否在晶片设计端进行补偿?比如,利用Chiplet架构,将最精密的计算单元和对制程不敏感的IO单元分开制造,再用先进封装集成?这样可以降低对单一制程良率的依赖。」

    这个「设计-工艺协同优化」的思路,为困境中的团队打开了一扇窗。

    虽然远水难解近渴,但无疑是面向未来的重要方向。

    就在攻坚最白热化的阶段,周明带来了一个不知是好是坏的消息:通过东门子的隐秘渠道,一家位于霓虹的中型光刻胶公司「水獭化学」,愿意私下提供一批达到28nm基本要求的实验性光刻胶样品,但价格是市场价的五倍,且不提供任何技术支持,并要求绝对保密。

    「这是趁火打劫,但也是救命稻草。」

    林薇在内部会议上说。

    陈醒拍板:

    「买!不仅要买,还要派出我们的技术团队,以『客户』的身份,尽可能多地与他们的工程师交流,学习经验。同时,这笔钱也要让我们自己的『火炬小组』看到,我们离目标还有多远,激励他们必须搞出来!」

    昂贵的霓虹样品暂时稳住了最低限度的研发和试验,但所有人都明白,这绝非长久之计。

    转机出现在一个凌晨。

    华科院实验室里,一个年轻的博士后在一次看似偶然的实验中,尝试引入了一种新型的金属氧化物纳米团簇作为光刻胶的增强剂。

    当测试结果出来时,所有人都惊呆了,在特定条件下,这种新型光刻胶在关键尺寸的均匀性和缺陷控制上,竟然首次超过了他们手上的霓虹样品!

    「我们……我们好像找到了一条新路径!」

    年轻博士后激动得声音发抖。

    许教授和林薇立刻组织力量,围绕这一发现进行深度开发和优化。「火炬小组」士气大振。

    又是两个月不眠不休的叠代。

    终于,代号「曙光一号」的国产高纯度ArF光刻胶,被小心翼翼地送入了华夏芯谷的产线。

    整个车间鸦雀无声,所有人都屏息凝神,看着晶圆在光刻机中缓缓移动。

    经过一道道复杂的工序,第一片采用完全自主光刻胶的28nm测试晶圆,被送入了电性测试环节。

    当最终测试报告呈现在陈醒和林薇面前时,尽管已有心理准备,两人还是忍不住深吸一口气。

    良率:70.5%!

    虽然距离国际顶尖水平的百分之八九十还有差距,但相比之前58%的深渊,这已然是巨大的飞跃!

    更重要的是,它证明了自主技术路线的可行性!

    车间里爆发出一阵压抑已久的欢呼声,许多人甚至激动地流下了眼泪。

    金秉洙博士看着数据,长长舒了一口气:

    「基础打通了。接下来,就是通过工艺优化,稳步爬升良率,向75%,甚至80%进军。」

    陈醒紧紧握住林薇和金秉洙的手,目光扫过每一张疲惫而兴奋的脸:

    「同志们,我们追上了这缕光,并且亲手打破了套在我们脖子上的第一道枷锁!这不是终点,这只是我们华夏芯谷真正走向独立自主的开始!」

    他顿了顿,对林薇说:

    「立刻准备量产评估报告。『曙光一号』的成功,意味着我们扫清了28nm量产道路上最大的障碍。华夏芯谷,必须全力以赴,确保28nm工艺如期实现规模化量产,为『天权4号』和整个『天河计划』,打下最坚实的基石!」

    窗外,合城的朝阳正喷薄而出,金色的光芒洒在华夏芯谷洁净的厂房屋顶上,仿佛为这支不屈的「追光」队伍,披上了胜利的曙光。

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